半导体工艺资深工程师

【工作职责】 1.工艺开发与验证：参与新产品 / 新工艺的 薄膜沉积设备 工艺开发，制定 DOE 实验方案，完成工艺窗口验证、可靠性评估与工艺规范制定，输出完整工艺开发报告。 2.量产技术支持：负责量产线 薄膜沉积设备 工艺良率提升与稳定控制，对接客户需求，推动工艺优化与问题闭环，保障产线良率与 OEE 达成。 3.工艺异常分析与改善：主导 薄膜沉积设备 工艺异常（颗粒、均匀性、薄膜应力、方块电阻、台阶覆盖等）的失效分析，联合设备、制程团队制定改善措施并落地验证。 4.工艺与设备协同优化：基于 SPTS/AMAT 等机台经验，支撑国产设备工艺端的性能对标与验证，参与关键工艺模块的评估、Second Source 导入与国产化适配。 5.工艺文档与标准建设：编制 薄膜沉积设备 工艺 SOP、工艺规范、异常处理流程等技术文档，沉淀工艺知识库，推动工艺标准化。 6.客户技术对接：提供客户现场工艺…… 完整岗位描述与官方投递入口,请登录后在岗位详情页查看。

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