Mechatronics Sr. MTS/MTS

A. 高精度运动台机械与系统设计 (Mechanical & System Design) • 负责电子束量测设备核心运动台的架构设计，重点优化结构刚度、阻尼特性及热稳定性。 • 执行基于有限元分析（FEA）的结构动力学仿真，预测并抑制共振模态，确保系统在电子束扫描频率范围内的动态响应满足信噪比要求。 • 设计低热膨胀系数材料组合及主动/被动隔振方案，以最小化环境振动和热漂移对纳米级测量的影响。 B. 运动控制算法开发与优化 (Motion Control & Optimization) • 建立高保真度的多物理场系统模型，用于控制器综合与仿真验证。 • 优化轨迹规划算法，在保证加速度和加加速度（Jerk）平滑的前提下，最大化晶圆检测吞吐量（Throughput）。 C. 系统集成与故障排查 (Integration & Troubleshooting) • 主导机电系统的集成调试，利用激…… 完整岗位描述与官方投递入口,请登录后在岗位详情页查看。

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