机械工程师（半导体设备）

【工作职责】 1.整机方案主导与架构设计：独立主导PVD薄膜沉积设备整机机械架构设计，负责真空腔体系统、晶圆传输系统、工艺腔体温控系统、气路集成系统、防护洁净系统等核心子系统方案定义、架构搭建与技术评审。 2.核心技术攻关与精度管控：针对薄膜设备高真空、高洁净、高精度、低温漂、低颗粒工艺要求，开展关键结构技术攻关，解决腔体形变、真空泄漏、晶圆对位偏差、工艺沉积污染、机构疲劳失效等核心技术难题。 3.精密模组研发与迭代：负责高端薄膜设备核心模组全新开发与升级迭代，包含真空腔体总成、精密晶圆承载机构、高速传输模组、腔体冷却隔热结构、密封长效可靠性结构等，定义关键部件技术指标与验收标准。 4.可靠性设计与仿真验证：主导设备DFMEA设计失效分析，开展结构应力仿真、热变形仿真、振动仿真、疲劳寿命分析，优化结构刚性、散热、密封性与使用寿命，满足量产高可靠性要求。 5.量产质量与成本优化：针对量产设备…… 完整岗位描述与官方投递入口,请登录后在岗位详情页查看。

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