微纳工艺工程师-未来产业技术研究院/光电融合团队（李晨晖团队）

1.负责硅基 PLC 芯片（AWG/AWGR）晶圆微纳工艺研发与量产维护，包含薄膜沉积、光刻、刻蚀、退火、清洗全制程开发，优化波导结构，降低芯片光学损耗与通道差异。 2.针对新产品流片做工艺可行性评估，通过 DOE 完成关键参数筛选，固化稳定工艺窗口；持续做良率提升、工艺缺陷改善，支撑大批量稳定生产。 3.完成工艺标准化建设，输出 SOP、管控计划、测试规范，所有技术资料在 PLM 系统归档，严格执行 ECN 变更管控。 4.对接版图设计、生产、质量团队解决工艺相关不良；负责光刻胶、特种气体、清洗液等晶圆耗材验证导入。 5.跟踪 PLC 晶圆行业新工艺，落地工艺降本、稳定性升级；负责后端 FA 耦合、封装胶水开发工作。 【任职要求】 1.本科及以上，光学、微电子、材料、化学；2~4 年 AWGR 无源芯片晶圆工艺经验，有 AWGR 量产开发经历优先。 2.熟练掌握 PECVD、ICP 刻…… 完整岗位描述与官方投递入口,请登录后在岗位详情页查看。

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