镀膜工程师

【岗位职责】 1. 介质薄膜工艺：负责InP晶圆PECVD SiO₂/Si₃N₄钝化膜、硬掩模；ALD高保形钝化薄膜的工艺开发、验证、研发转量产，管控膜厚、折射率、薄膜应力、均匀性。 2. 金属镀膜工艺：负责电子束蒸发(E-gun)、磁控溅射金属层工艺开发与量产维护；Ti/Pt/Au、AuGe/Ni/Au等InP激光器欧姆接触金属沉积，管控金属膜厚、方块电阻、台阶覆盖、颗粒、金属剥离效果。 3. 快速热退火RTP工艺：负责金属欧姆接触RTP快速热退火工艺开发；优化退火温度、升温速率、保温时间、保护气氛；控制合金界面，降低接触电阻，防止InP基底高温分解、表面形貌劣化。 4. 腔面镀膜工艺：负责DFB激光器解理腔面电子束蒸镀AR减反膜、HR高反膜；膜系验证，管控反射率、膜厚均匀性，保障激光器阈值、光功率特性。 5. 量产工艺稳定维护：持续监控膜厚、方块电阻、应力、接触电阻、反射率等关键参数；…… 完整岗位描述与官方投递入口,请登录后在岗位详情页查看。

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